עף-טהעטאַ לענסעס ווערן אָפט גענוצט צוזאַמען מיט גאַלוואַנאָמעטער סקאַנינג שפּיגלען אין לאַזער גראַווירונג, שניידונג און מאַרקינג סיסטעמען. טיפּיש ווערט די עף-טהעטאַ דיסטאָרשאַן פון דער לענס געהאַלטן ווייניקער ווי 1% אַזוי אַז זי זאָל קענען פּראָדוצירן אַ פּינקטלעכן אָרט אין דעם פלאַך פעלד אויף דער בילד פלאַך.
דיאַמעטער טאָלעראַנץ: +0/-0.13 מם
גרעב טאָלעראַנץ: ±0.25 מם
פאָקאַל לענג טאָלעראַנץ: ±2%
ברעג גרעב וועריאַציע (ETV): ≤3 אַרק מינימום.
קלאָרע אַפּערטור: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
ייבערפלאַך קוואַליטעט: 40-20 SD
AR קאָוטינג: R<0.2% פּער ייבערפלאַך @10.6μ