די OPEX F-theta לענס פֿאַרמאָגט אַ 460 מ״מ EFL און אַ 220 × 220 מ״מ סקען פֿעלד, מאַכנדיג עס ידעאַל פֿאַר גרויס-שטח פּראַסעסינג מיט 1064 נ״מ אָדער 1070 נ״מ לאַזערס. איר אינטעגרירטער וואַסער-קילונג פּלאַן גאַראַנטירט אָפּטישע סטאַביליטעט דורך עלימינירן טערמישע לענסינג, אפילו אונטער קאָנטינויִערלעך הויך-מאַכט אָפּעראַציע.
וועוולענגט האט זיך פאקוסירט אויף צושטעלן הויך-פרעציזיע אפטישע פראדוקטן פאר 20 יאר