הויך-רעזאָלוציע טעלעצענטרישע F-טהעטאַ סקען לענס פֿאַר UV לאַזער מיקראָמאַשינינג און האַלב-קאָנדוקטאָר אַפּלאַקיישאַנז

טעלעצענטרישע F-טהעטאַ סקען לענס דורך פיוזד סיליקאַ

טעלעצענטרישע F-Theta סקען לענס איז אַ ספּעציעלע טיפּ לענס סיסטעם, וואו דער אָפּגעבויגענער אָפֿ-אַקסיאַלער לאַזער שטראַל קען ווערן פּערפּענדיקולאַר פאָקוסירט צום אַרבעטסשטיק, ענלעך צום אָנ-אַקסיאַלן פאָקוסירנדיקן שטראַל. דער פֿאָרטייל פֿון דער טעלעצענטרישער סקען לענס איז, אַז זי איז פֿעיִק צו פֿלאַכן די פֿעלד קרומונג צו דער קלענסטער פֿאַרדרייונג, און דאָך אָפֿערן אַן אויסגעצייכנטע פֿלעק קוואַליטעט איבערן גאַנצן סקען פֿעלד. פֿאַר הויך-פּאַוערד לאַזער און אולטראַ-שנעלע לאַזער מקורים, אָפֿערן מיר די TSL-Q סעריע טעלעצענטרישע F-Theta סקען לענס צו מינימיזירן טערמישע לענסינג און פֿאָקאַלע פֿאַרשיבונג.

• טייל נומער: TSL-355-50-103Q
• EFL (מם): 103.0
• סקען פעלד (מם): 50×50
• אינפוט שטראַל Φ (1/e²) (מם): 9.0
• פֿאָדעם: M85x1
• ברייטקייט (מ״מ): 137.4
• פֿענצטער דיאַמעטער×דיק (מם): 80×2