NIR פּלאַן אַפּאָ 50X/0.67 – אינפיניטי קאָריגירט מעטאַלורגישע אָביעקטיוו פֿאַר דורך-סיליקאָן ימאַגינג און פיבער לאַזער פּראָצעס מאָניטאָרינג

דער NIR פּלאַן אַפּאָ 50X/0.67 איז אַ פּרעמיע אינפיניטי קאָריגירט פּלאַן אַפּאָכראָמאַטיש מיקראָסקאָפּ אָביעקטיוו ספּעציעל אָפּטימיזירט פֿאַר נאָענט-אינפֿראַרויט (NIR) אַפּלאַקיישאַנז. מיט אַ נומערישער אַפּערטור (NA) פון 0.67 און אַן אַרבעט דיסטאַנס (WD) פון 10 מם, גיט עס אויסערגעוויינלעכע רעזאָלוציע (0.5 µm) און ויסגעצייכנטע NIR טראַנסמיסיע אַריבער די 380-700 נם זיכטבאַר קייט ווי געזונט ווי די קריטישע 1064 נם כוואַליע לענג - מאכן עס ידעאַל פֿאַר סיליקאָן וועיפער באַקסייד דורכקוק, דורך-סיליקאָן דורך (TSV) מעטראָלאָגי, און רעאַל-צייט מאָניטאָרינג פון פיברע לאַזער פּראַסעסינג.

שליסל ספּעסיפיקאַציעס:

• פֿאַרגרעסערונג: 50X
• נומערישע אַפּערטשער (NA): 0.67
• ארבעטס דיסטאַנץ (WD): 10 מם
• פאָקאַל לענג: 4 מם
• רעזאָלוציע: 0.5 מיקראָמעטער
• טיפקייט פון פעלד (±DF): 0.75 מיקראָמעטער
• מאַקסימום פעלד פון קוק: 0.5 מם
• וואָג: 430 ג
• אָפּטישער פּלאַן: אומענדלעך קאָריגירט, פּלאַן אַפּאָכראָמאַט (APO)
• ארבעטס-וועללענג: 380–700 נאַנאָמעטער און 1064 נאַנאָמעטער
• אימערשאַן מיטל: לופט